隨著小島不斷成長，小島間距離逐漸減小，*相鄰小島可相互結合并成為一個大島，如圖5一10所示。小島合并長大后，在基片表面上占據面積減小，表面能降低，基片表面上空出的地方可再次成核。島的合并與固相燒結相類似。假設兩個小島都是半徑為r的球形，結合部曲率半徑為r'，小島接觸后經歷時間為t，它們之間的關系可用下式表示:

式中V是原子體積，n是吸附原子在島上的表面密度，D是吸附原子擴散系數,是表面自由能，n和m為常數，k是玻耳茲曼常數，T是*溫度。