薄膜在基片表面上的附著，是范德華力、擴散附著、機械鎖合、靜電引力等多種因素綜合作用的結果。如薄膜材料與基片形成化合物，化學鍵力成為主要的附著作用力。薄膜的附著力可分為簡單附著、擴散附著、通過中間層附著和宏觀效應附著等四種類型。